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化学指标单位:μg/l
序号 | 水质项目 | 一级高纯水指标 | 二级高纯水指标 |
1 | 电阻率(25℃)mω·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 电导率,μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | ph值 | 6.8~7.2 | 6.6~7.4 |
4 | 细菌总数,个/ml | <3 | <9 |
5 | 微粒(直径>0.5μm,粒/ml) | <150 | <300 |
6 | 二氧化硅 | <10 | <20 |
7 | 有机物(以cod计) | <0.3 | <0.5 |
8 | 钠 na | <0.5 | <2 |
9 | 铁 fe | <1 | <2 |
10 | 铜 cu | <0.5 | <1 |
11 | 钙 ca | <1 | <3 |
12 | 镁 mg | <0.2 | <1 |
13 | 锌 zn | <0.5 | <1 |
14 | 锰 mn | <0.2 | <0.5 |
说明:①爱游戏全站app手机版-爱游戏全站app手机版合用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水合用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子产业部尺度摘录。
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